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減薄的方式及原理


發布時間:

2022-08-16

平板顯示行業中,現有薄化工藝主要分為兩大類:化學蝕刻(主流方式)利用化學溶液蝕刻材料表面進行薄化處理,如使用HF與玻璃中的主成分二氧化硅SiO2發生反應并使其溶解的原理,將較厚的面板玻璃薄化至規定的厚度。薄化后面板玻璃表面的光潔度也需符合顯示器件的嚴格要求。

減薄的方式及原理

  平板顯示行業中,現有薄化工藝主要分為兩大類:

  1、化學蝕刻(主流方式)

  --利用化學溶液蝕刻材料表面進行薄化處理,如使用HF與玻璃中的主成分二氧化硅SiO2發生反應并使其溶解的原理,將較厚的面板玻璃薄化至規定的厚度。薄化后面板玻璃表面的光潔度也需符合顯示器件的嚴格要求。

  --6HF+SiO2->H2SiF6+2H2O

  2、物理研磨(輔助方式)

  --通過機械的研磨作用在玻璃表面上,對液晶面板玻璃進行薄化處理。主要用于改善玻璃表面的光潔度以及缺陷修復。

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